氦质谱检漏仪采用高纯氦气作为泄漏气体，利用气体分析仪检测氦气进行检漏。是国内外真空容器检漏的先进技术。与一般检漏技术相比，氦质谱检漏技术具有快速、准确、灵敏度高、无损等优点。氦质谱检漏仪的示踪气体也可以是其他元素。然而，通常选择氦气是因为它具有以下特性：
    1、空气中氦气的含量很少，只有1/200,000左右，很容易找到；
    2、氦分子小，重量轻，易于扩散，比其他气体更容易通过泄漏点；
    3、氦离子荷质比小，易于质谱分析；
    4、氦气无毒、无味，对大气无污染。
    5、氦气是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀或损坏设备；
    6、氦气无毒、不凝结，并且极难溶于水。
    由于氦气具有上述特性，氦气检漏的应用已从科研院所走向工业企业乃至个体企业。可以说应用领域极其广泛。推荐阅读相关文章：高纯氦气玩火会爆炸吗？